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반도체 제조장치에 대한 입문서로서는 너무 훌륭한 책이라 생각됩니다.
저는 반도체 및 LCD공장 자동화 및 장비자동화를 하는 업체에 근하하고 있습니다.
회사에서 반도체 공정에 따른 장비 및 장치의 구성요소와 형태에 대하여 정리해야 할
필요성이 대두되어 인터넷에서 갖가지 자료들을 찾아보았었습니다.
라디언테크의 자료가 도움이 되긴하였으나 전체를 쳬계적으로 정리하기에는 부족함이 있었습니다. 저와같은 목적으로 책을 구입하시는 분이라면 강추입니다.
성안당에서 이런류의 책을 출판해준 것에 대해서도 감사 드립니다.
저에게는 너무 절실한 책이었거든요... [인상깊은구절] 반도체 제조장치 분류 및 구성형태 |