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· 가톨릭대학교 반도체시스템공학 전공 공학사
· 중앙대학교 플라즈마응용 전공 공학석사
· 중앙대학교 반도체 및 신소재공학 전공 공학박사
· 한국전자통신연구원 나노센서연구실 선임연구원

· 現, 한국폴리텍대학 반도체융합캠퍼스 반도체공정장비과 교수
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