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[진공의 기초]
진공이란 진공의 필요성 진공의 역사 진공의 단위 및 진공의 분류 진공에 사용되는 부호 [진공 관련 이론] 기체 법칙 전도 표면 물리학 [진공의 제작 : 진공펌프] 펌프의 성능에 관련된 용어 진공 펌프의 종류 및 사용 저진공 펌프 고진공 펌프 초고진공 펌프 그 밖의 펌프 [진공의 측정 : 진공 압력계] 진공 게이지의 분류 진공 게이지의 선택 및 사용 직접 측정 게이지 기체의 열 특성을 이용한 게이지 기체의 이온을 이용한 게이지 Spin rotor 게이지 그 밖의 게이지 잔류 기체 분석기 누출 검지 [진공기술과 관련된 물질] 진공 작업에 사용되는 물질 및 특성 세척 [진공 시스템 제작] 진공 부품 고진공 시스템 제작에 있어 고려해야 할 사항 기체 방출률의 계산 배관 및 기타 [안전 및 사용시 유의점] 참고문헌 용어집 찾아보기 |