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진공물리 및 진공기술
안일신 저
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목차

[진공의 기초]
진공이란
진공의 필요성
진공의 역사
진공의 단위 및 진공의 분류
진공에 사용되는 부호
[진공 관련 이론]
기체 법칙
전도
표면 물리학
[진공의 제작 : 진공펌프]
펌프의 성능에 관련된 용어
진공 펌프의 종류 및 사용
저진공 펌프
고진공 펌프
초고진공 펌프
그 밖의 펌프
[진공의 측정 : 진공 압력계]
진공 게이지의 분류
진공 게이지의 선택 및 사용
직접 측정 게이지
기체의 열 특성을 이용한 게이지
기체의 이온을 이용한 게이지
Spin rotor 게이지
그 밖의 게이지
잔류 기체 분석기
누출 검지
[진공기술과 관련된 물질]
진공 작업에 사용되는 물질 및 특성
세척
[진공 시스템 제작]
진공 부품
고진공 시스템 제작에 있어 고려해야 할 사항
기체 방출률의 계산
배관 및 기타
[안전 및 사용시 유의점]
참고문헌
용어집
찾아보기

품목정보

발행일
1999년 11월 01일
쪽수, 무게, 크기
274쪽 | 188*254*20mm
ISBN13
9788972181163

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