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플라즈마 식각기술
염근영 저
도서출판 영(Young) 2012.02.01.
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목차

1장 서론
2장 기체의 특성
3장 가스입자간의 충돌현상
4장 플라즈마의 기초
5장 직류 플라즈마
6장 고주파 플라즈마
7장 고밀도 플라즈마
8장 플라즈마식각의 원리 및 공정인자의 영향
9장 다양한 물질의 식각
10장 플라즈마 진단기술
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품목정보

발행일
2012년 02월 01일
쪽수, 무게, 크기
400쪽 | 188*254*30mm
ISBN13
9791188743001

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