초판본이 출간되었을 때에는 반도체 분야에서 변방의 후발 도전자이었던 우리나라가 이제는 어느덧 세계 최고의 반도체 기술 및 산업경쟁력을 보유한 선진국으로 우뚝 서게 되었습니다. 우리말로 작성된 반도체 공정 관련 서적이 많지 않았던 우리나라 반도체 연구 초창기부터 반도체 분야 학부생, 대학원생, 연구자, 산업체 종사자분들과 함께해 온 이 책도 우리나라의 눈부신 반도체 발전에 작은 기여를 하였다는 생각을 하면 자부심도 느껴지지만, 이와 동시에 앞으로 펼쳐질 미래에 대한 책임감도 느껴집니다.
이번 5차 개정판에서는 급격하게 발전하는 반도체 공정 기술의 진보를 상당부분 과감하게 수용하였고 시대에 뒤떨어지거나 불필요한 내용은 과감하게 삭제하였습니다. 아울러 이해가 어려운 부분은 쉽게 풀어서 설명하고 이전 판에서의 오류를 수정하는 작업도 게을리하지 않았습니다. 그러면서도 “급변하는 시류를 좇기보다 세월이 지나도 중요한 반도체 공정 기본지식을 제공”한다는 이 책의 근본적인 목표는 변함없이 고수하고자 노력하였습니다.
언제나 그렇듯이 이번 개정판의 내용도 하루가 다르게 급변하는 반도체 공정기술의 내용을 모두 아우르기에는 부족한 면이 있을 것으로 생각하는 만큼, 앞으로도 지속적으로 이 책의 내용을 개선하여 나갈 것을 약속드립니다.