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반도체 8대 공정 마스터
초보자부터 마스터까지
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공학계열 top100 3주
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책소개

목차

제1장 반도체 기초
제2장 산화
제3장 확산
제4장 이온주입
제5장 박막 증착
제6장 리소그라피
제7장 식각기술
제8장 금속배선
제9장 소자 공정
제10장 패키징

저자 소개 2

현) 전북대학교 반도체과학기술학과 교수, 반도체물성연구소 소장. 전) 한국전자통신연구원 선임연구원, 삼성전자 종합기술원 전문연구원(책임급). 전북대학교 반도체과학기술학과 교수로 재직하며 차세대 화합물반도체 분야의 연구와 교육을 수행하고 있다. 국가 경제와 산업 전반에 큰 파급 효과를 미치는 반도체 기술이 지속적으로 발전하기 위해서는 전문성과 실무 역량을 갖춘 인재 양성이 무엇보다 중요하다는 신념을 바탕으로, 심규환 교수와 함께 『반도체 소자 8대 공정 마스터』를 공동 집필하였다. 삼성종합기술원과 한국전자통신연구원에서 차세대 반도체 소자 및 공정 기술을 연구한 경험을 토대
현) 전북대학교 반도체과학기술학과 교수, 반도체물성연구소 소장.
전) 한국전자통신연구원 선임연구원, 삼성전자 종합기술원 전문연구원(책임급).
전북대학교 반도체과학기술학과 교수로 재직하며 차세대 화합물반도체 분야의 연구와 교육을 수행하고 있다. 국가 경제와 산업 전반에 큰 파급 효과를 미치는 반도체 기술이 지속적으로 발전하기 위해서는 전문성과 실무 역량을 갖춘 인재 양성이 무엇보다 중요하다는 신념을 바탕으로, 심규환 교수와 함께 『반도체 소자 8대 공정 마스터』를 공동 집필하였다.
삼성종합기술원과 한국전자통신연구원에서 차세대 반도체 소자 및 공정 기술을 연구한 경험을 토대로, 현재는 화합물반도체 기반 전자소자의 설계·제조·특성 분석 및 응용 기술 개발에 연구 역량을 집중하고 있다. 특히 차세대 전력반도체 및 고주파·광전자 소자 분야에서 주목받고 있는 GaN 및 Ga₂O₃ 기반 반도체 소자의 물성, 공정, 계면 및 소자 특성에 관한 연구를 중점적으로 수행하고 있다.

아울러 전북대학교 반도체물성연구소 소장으로서 첨단 반도체 공정 및 분석 인프라를 구축하고, 이를 기반으로 대학과 산업체를 대상으로 다양한 연구 지원 및 분석 서비스를 제공하고 있다. 또한 반도체 산업 현장에서 요구되는 실무 역량을 갖춘 인재를 양성하기 위해, 반도체 공정과 소자 제작·분석을 연계한 체계적인 실습 교육 프로그램을 운영하고 있다.

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현) (주)시지트로닉스(SIGETRONICS) 대표, 전북대학교 반도체학과 교수. 전) 한국전자통신연구원 책임연구원. 전북대학교 반도체과학기술학과에 교수로 재직하고 있으며, 반도체 소자와 공정 분야에 대한 강의를 위주로 하여 인력을 양성해왔다. 반도체에서 소자와 공정은 기술발전의 중심축이므로, 본 서적 “반도체 소자 8대 공정 마스터”는 반도체 분야에 입문한 초보자로 하여금 효과적으로 전문지식을 습득하게 하고 현장의 전문가로 활약하면서 마스터까지 도달하기를 바라면서 집필하게 되었다. 과거 한국전자통신연구원에 입사해 GaAs 화합물반도체 전자소자를 국내에서 개시한 최초
현) (주)시지트로닉스(SIGETRONICS) 대표, 전북대학교 반도체학과 교수.
전) 한국전자통신연구원 책임연구원.
전북대학교 반도체과학기술학과에 교수로 재직하고 있으며, 반도체 소자와 공정 분야에 대한 강의를 위주로 하여 인력을 양성해왔다. 반도체에서 소자와 공정은 기술발전의 중심축이므로, 본 서적 “반도체 소자 8대 공정 마스터”는 반도체 분야에 입문한 초보자로 하여금 효과적으로 전문지식을 습득하게 하고 현장의 전문가로 활약하면서 마스터까지 도달하기를 바라면서 집필하게 되었다.

과거 한국전자통신연구원에 입사해 GaAs 화합물반도체 전자소자를 국내에서 개시한 최초의 구성원이었고, 미국 유학 파견 기간에는 GaN 분야를 전공하여 박사학위를 취득했다. 다시 한국전자통신연구원으로 복귀한 후에 SiGe 반도체를 위주로 연구개발 업무를 수행했으며, 2004년 전북대학교 반도체과학기술학과로 이직하여 SiGe, GaN, Ga2O3 등 화합물반도체 분야에 지속적으로 집중하여 연구와 교육을 이행하였다. 반도체의 주축인 실리콘반도체를 비롯해 각종 화합물반도체를 이용하여 정전기 방호소자, 광센서소자, 전력소자, RF소자와 같이 다양한 소자를 설계하고 개발하여 실용화하는데 주력하고 있다.

공학계열의 학문적 완성은 발명과 창업과 같이 현실에 유용한 결과물을 도출하는데 있다고 판단하였고, 결과적으로 ㈜시지트로닉스 벤처사를 창업하였다. 2023년에 ㈜시지트로닉스를 코스닥에 상장하였으며, 현재 특화반도체 분야의 최첨단 기술을 개발하여 세계적인 기업으로 성장시키고자 심혈을 기울이고 있다.

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품목정보

발행일
2024년 07월 26일
쪽수, 무게, 크기
210쪽 | 693g | 210*297*20mm
ISBN13
9791164406012

출판사 리뷰

반도체 제조 과정은 수 백 내지 수 천 공정 스텝으로 이루어지며, 이 스태프들 하나하나 연계되고 다 이유가 있고 물리화학적 원리가 배어있다. 앞의 공정 스텝이 뒤의 공정 스텝에 영향을 주고, 뒤의 공정 스텝이 앞의 공정 스텝으로 형성한 구조에 영향을 주므로 매우 복잡하다. 다만 시뮬레이션의 발달로 많은 부분 의지할 수 있지만 미래의 구조와 방식을 개발해야 할 때는 개발자가 체득해서 지니고 있는 저력이 있어야 창출을 이루어낼 수 있다. 따라서 이 책『반도체 8대 공정기술 마스터』의 문제를 풀어가는 과정에서 전문용어의 개념과 기본 원리에 대한 이해를 몸과 머리에 축적하여 마스터가 되기를 바란다.

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