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소득공제
기초반도체공정
이문희 저
글로벌 2024.09.11.
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목차

제1장 반도체 재료의 발전과 진공과학의 기초
제2장 실리콘의 제조 및 전제
제3장 실리콘 다결정의 분석
제4장 실리콘 단결정의 성장 및 평가
제5장 확산에 의한 도핑
제6장 이온주입에 의한 도핑
제7장 실리콘 산화막의 형성
제8장 절연박막의 제작 및 평가
제9장 에칭
제10장 집적회로의 제조공정

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품목정보

발행일
2024년 09월 11일
쪽수, 무게, 크기
384쪽 | 918g | 191*260*21mm
ISBN13
9788955029680

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