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1.1 진공의 바다
1.1.1 진공의 정의 1.1.2 대기압의 인식 1.2 진공의 역사 1.2.1 진공의 태동 1.2.2 진공의 실험 1.2.3 진공 펌프의 개발사 1.3 진공의 성질 1.3.1 진공의 특성 1.3.2 진공의 분류 1.4 진공기술 1.4.1 진공의 필요성 1.4.2 진공기술의 응용 [제2장] 기체의 운동 2.1 기체의 성질 2.1.1 기체의 역사 2.1.2 이상적인 기체 2.2 기체법칙 2.2.1 Boyle의 법칙 2.2.2 Charles의 법칙 2.2.3 Dalton의 법칙 2.2.4 Avogadro의 가설 2.2.5 이상 기체의 법칙 2.3 기체의 전달현상 2.3.1 확산 2.3.2 점성 2.3.3 열전달 2.3.4 평균자유행정 2.4 기체 흐름 2.4.1 기체 흐름의 영역 2.4.2 컨덕턴스 2.4.3 유량 2.5 기체와 고체 표면 [제3장] 진공 펌프 3.1 진공 펌프의 성능 3.1.1 배기속도 3.1.2 배기시간 3.2 진공 펌프의 분류 3.3 진공 펌프의 선정 3.4 진공 펌프의 사용방법 [제4장] 러핑 펌프 4.1 피스톤 회전 펌프 4.2 오일 회전 펌프 4.3 드라이 펌프 4.3.1 Screw 펌프 4.3.2 Roots 펌프 4.3.3 Claw 펌프 4.3.4 Scroll 펌프 4.4 부스터 펌프 4.5 벤츄리 펌프 4.6 섭션 펌프 [제5장] 고진공 펌프 5.1 확산 펌프 5.1.1 확산 펌프의 역사 5.1.2 확산 펌프의 구조와 원리 5.1.3 오일 증기의 역류 5.1.4 확산 펌프의 오일 5.1.5 확산 펌프의 사용법과 고장진단 5.2 터보분자 펌프 5.2.1 터보 펌프의 역사 5.2.2 터보 분자 펌프의 기본 원리 5.2.3 터보 분자 펌프의 설계 5.2.4 터보 분자 펌프의 사용법과 고장진단 5.3 크라이오 펌프 5.3.1 크라이오 펌프의 원리 5.3.2 크라이오 펌프의 구조 5.3.3 크라이오 펌프의 사용법 [제6장] 초고진공 펌프 6.1 게터 펌프 6.1.1 게터 펌프의 종류와 원리 6.1.2 게터 펌프의 배기특성 6.1.3 게터 펌프의 사용법 6.2 티타늄 승화 펌프 6.3 이온 펌프 |