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책소개
목차
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서론 : 플라즈마 전자공학
Chapter 1 플라즈마 기초 Chapter 2 플라즈마 발생 Chapter 3 플라즈마 화학 반응 Chapter 4 플라즈마 공정 Chapter 5 플라즈마 측정 및 진단 Chapter 6 플라즈마 소스 공학 Chapter 7 부록 |
저자 소개 1
한국과학기술원(KAIST) 플라즈마 박사.
㈜ 플라즈마트 연구소장, 한양대학교 공과대학 전기공학과 교수.
University of Texas at Dallas 객원교수(2008~2009), 삼성전자 생산기술연구소 고문(2012~2013), 한국정보디스플레이학회 장비연구회 회장(2011~2015) 역임.
한국반도체디스플레이기술학회 장비연구회 회장(2019~현재), SK하이닉스 식각 플라즈마 연구센터장(2024~현재), 삼성전자 미래기술협의회(식각) 자문위원(2025~현재).
반도체 · 디스플레이 플라즈마 진단 모니터링, 플라즈마 소스 및 물성 연구.
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