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소개
저자 소개 1
한국과학기술원(KAIST) 플라즈마 박사.
㈜ 플라즈마트 연구소장, 한양대학교 공과대학 전기공학과 교수.
University of Texas at Dallas 객원교수(2008~2009), 삼성전자 생산기술연구소 고문(2012~2013), 한국정보디스플레이학회 장비연구회 회장(2011~2015) 역임.
한국반도체디스플레이기술학회 장비연구회 회장(2019~현재), SK하이닉스 식각 플라즈마 연구센터장(2024~현재), 삼성전자 미래기술협의회(식각) 자문위원(2025~현재).
반도체 · 디스플레이 플라즈마 진단 모니터링, 플라즈마 소스 및 물성 연구.
품목정보
- 발행일
- 2021년 08월 23일
- 지원기기
- 크레마, PC(윈도우 - 4K 모니터 미지원), 아이폰, 아이패드, 안드로이드폰, 안드로이드패드, 전자책단말기(저사양 기기 사용 불가), PC(Mac)
- 파일/용량
- PDF(DRM) | 7.38MB ?
- 글자 수/ 페이지 수
- 약 320쪽 ?
- ISBN13
- 9788936322694
