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이 상품의 시리즈 9
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책소개
목차
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1. 반도체 리페어 장치
2. 반도체 노광 공정 장치 3. 반도체 장치 및 부품 4. 반도체 증착 장치 및 부품 5. 반도체용 특수가스 6. 실리콘 웨이퍼 7. 반도체 세정 장치 및 부품 8. 반도체 측정 분석 검사 장치 및 부품 9. 전력(파워)반도체(PowerIC) 10. 루테늄(Ru) 박막의 ALD 전구체 11. 고효율 유무기 하이브리드 방열 소재 12. 식각장치용 컨트롤러 및 센서 13. 반도체 이온주입기 14. 반도체 이송 반송 모듈 및 장치 |
저자 소개 2
『중소기업 전략기술로드맵』 등의 저자이다.
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품목정보
- 발행일
- 2023년 05월 06일
- 쪽수, 무게, 크기
- 930쪽 | 1918g | 188*257*40mm
- ISBN13
- 9791129046666
