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반도체 전공정장비 1
2판
이인호,이현배,김진석,김용태,황성진 저 외 3명
복두출판사 2024.02.15.
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책소개
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목차

Chapter 1 노광공정(Lithography Process) 장비
1. 노광공정 개요
2. 포토공정 및 장비의 전체 구성 및 역할
3. 노광장비 예방 점검 및 규격
4. 장비 운영

Chapter 2 트랙(Track)공정 장비
1. 트랙 공정 개요
2. 트랙 장비의 전체 구성 및 역할
3. 트랙 장비의 기능 Module별 구성 역할
4. 모듈별 주요 구성품 및 역할
5. 모듈별 고장 진단 및 해결 방법
6. 장비운영

Chapter 3 측정장비
1. 측정 장비의 이해
2. Particle 측정 장비
3. 패턴 검사 측정장비
4. 두께(Thickness) 측정장비
5. CD SEM(주사전자현미경 장비)
(Critical Dimension Scanning Electron Microscopy)
6. 오버레이(Overlay) 장비

Chapter 4 식각공정(Etching) 장비
1. 식각장비 개요
2. 식각 장비의 기본 구조
3. 식각장치 TE8500의 개요
4. TE8500 장비 운영

Chapter 5 에싱공정(Ashing) 장비
1. 에싱(Ashing) 공정 개요
2. 장비의 전체 구성 및 역할
3. 모듈별 고장 진단 및 해결방법
4. 고장 검사(Trouble Shooting)
5. 설비 운영(Operation)
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저자 소개 8

저이인호

관심작가 알림신청  
(주)리소텍

저이현배

관심작가 알림신청  
인터체크

저김진석

관심작가 알림신청  
(주)세미즈

저김용태

관심작가 알림신청  
(주)티티엘

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저황성진

관심작가 알림신청  
(주)엘티알

저원영진

관심작가 알림신청  
부천대학교 교수 『스마트폰으로 제어하는 아두이노』, 『IoT 제어를 위한 아두이노』의 저자이다.

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저김덕영

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부천대학교 전자공학과 교수

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품목정보

발행일
2024년 02월 15일
쪽수, 무게, 크기
370쪽 | 188*257*18mm
ISBN13
9791166754586

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