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반도체 전공정장비 1
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소개
목차
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Chapter 1 노광공정(Lithography Process) 장비1. 노광공정 개요2. 포토공정 및 장비의 전체 구성 및 역할3. 노광장비 예방 점검 및 규격4. 장비 운영Chapter 2 트랙(Track)공정 장비1. 트랙 공정 개요2. 트랙 장비의 전체 구성 및 역할3. 트랙 장비의 기능 Module별 구성 역할4. 모듈별 주요 구성품 및 역할5. 모듈별 고장 진단 및 해결 방법6. 장비운영Chapter 3 측정장비1. 측정 장비의 이해2. Particle 측정 장비3. 패턴 검사 측정장비4. 두께(Thickness) 측정장비5. CD SEM(주사전자현미경 장비)(Critical Dimension Scanning Electron Microscopy)6. 오버레이(Overlay) 장비Chapter 4 식각공정(Etching) 장비1. 식각장비 개요2. 식각 장비의 기본 구조3. 식각장치 TE8500의 개요4. TE8500 장비 운영Chapter 5 에싱공정(Ashing) 장비1. 에싱(Ashing) 공정 개요2. 장비의 전체 구성 및 역할3. 모듈별 고장 진단 및 해결방법4. 고장 검사(Trouble Shooting)5. 설비 운영(Operation)
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저자 소개 8
부천대학교 교수
『스마트폰으로 제어하는 아두이노』, 『IoT 제어를 위한 아두이노』의 저자이다.
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품목정보
- 발행일
- 2025년 04월 02일
- 지원기기
- 크레마, PC(윈도우 - 4K 모니터 미지원), 아이폰, 아이패드, 안드로이드폰, 안드로이드패드, 전자책단말기(저사양 기기 사용 불가), PC(Mac)
- 파일/용량
- PDF(DRM) | 35.96MB ?
- 글자 수/ 페이지 수
- 약 369쪽 ?
- ISBN13
- 9791166756184
