이미 소장하고 있다면 판매해 보세요.
|
머리말
1. 진공의 자리를 내리는 일에의 도전 2. 진공 공업이 더듬어온 길 3. 가장 눈부신 발전 - 진공을 이용한 성막 공업 4. 감기 증착 5. 이온 플레이팅 6. 플라스마 프로세스 - 스퍼터링 7. 초고진공Ⅰ - 깨끗한 진공을 만든다 8. 초고진공Ⅱ - 표면과학과 분자선 에피택시얼 성장 9. 넓어지는 플라스마 이온빔 이용 기술 10. 거대 과학과 초고진공 기술 - 앞으로의 진전 관련도서 소개 찾아보기 |
한명수의 다른 상품
|
21세기 최첨단 기술은 진공 기술에 있다
진공 기술에서 일어난 혁신이란 무엇인가? 바늘 구멍만한 크기 속에 복잡한 회로를 인쇄해 넣는 반도체 제조 등은 먼지가 없는 깨끗한 환경 아래에서 해야 한다. 그것을 실현하는 것도 진공 기술의 하나다. 보통 「진공」이란 공간 속의 기체 분자가 적은 상태라고 생각되고 있다. 그러나 더욱 「청정」의 극한을 추구하면 단지 공간의 분자 밀도를 적게 할 뿐만 아니라 물질 표면에 붙은 기체 분자 하나하나의 동작에 주목해야 한다. 여기에서부터 초고진공 기술이 태어났다. 이 기술 혁신에서 무엇이 일어나고 무엇이 가능해졌는가?! |