Chapter 1 증착 장비 운용의 범위와 목적
증착 장비 운용의 정의와 업무 경계
장비 구성 단위와 기능 범주
공정 흐름에서 장비의 역할
운용 문서 체계의 구성
설비 인터페이스와 사용자 권한
운용 중 기록의 기본 원칙

Chapter 2 운용 전 준비와 작업 환경
작업 구역 조건과 정리 기준
전원·가스·진공·냉각 유틸리티 확인
장비 상태 확인의 기본 항목
필수 보호구와 기본 안전 수칙
작업 승인과 커뮤니케이션 흐름
투입 자재와 준비물 확인

Chapter 3 장비 인터페이스 이해와 기본 조작
조작 화면 구성과 표시 정보
운전 모드와 제어 범위
알람·인터록 표시의 의미
레시피 선택과 변경 제한
수동 조작과 자동 운전의 구분
기본 조작 시 주의 사항

Chapter 4 공정 투입 준비와 로딩 절차
기판 및 캐리어 취급 기본
로더·핸들러 장치의 동작 개요
투입 전 오염 방지 기본 원칙
로딩 확인 항목과 조건
정렬·고정·클램핑의 기본 기준
투입 오류의 대표 형태

Chapter 5 진공 시스템 운용의 기본
펌프 구성과 역할 구분
배기 순서와 압력 안정화
밸브 동작과 개폐 원칙
압력 측정과 기준값 관리
누설 의심 시 기본 판단 기준
진공 이상 알람의 일반적 원인

Chapter 6 가스 및 유량 제어의 기본
가스 라인의 구성과 흐름
유량 제어 장치의 역할
퍼지와 라인 안정화 원칙
혼합·전환 운용의 기본 규칙
가스 이상 경보의 기본 대응 원칙
가스 관련 기록 항목

Chapter 7 열원·플라즈마·전원 계통 운용 기본
히터 및 온도 제어의 기본 구조
온도 상승·유지의 일반 규칙
RF·DC 전원의 개념적 역할 구분
플라즈마 점화와 안정 조건
전원 계통 인터록의 의미
과열·과전류 알람의 기본 판단

Chapter 8 표준 운전 절차 실행
시동 전 체크와 초기화 흐름
레시피 실행 단계의 일반 구조
모니터링 항목과 확인 주기
공정 중 변경 금지 항목
정상 종료와 안정화 절차
비정상 종료의 기본 처리 원칙

Chapter 9 품질 영향 요소의 기본 관리
청정도와 파티클 관리 원칙
챔버 컨디션의 기본 개념
자재 로트 관리의 기본
공정 데이터의 최소 수집 항목
이상 징후의 기본 분류 기준
재현성 확보를 위한 기록 원칙

Chapter 10 이상 상황 대응과 기본 복구
알람 우선순위와 대응 순서
인터록 발생 시 기본 확인 절차
장비 정지 기준과 안전 확보
간단 복구 가능 범위의 기준
복구 후 정상 확인 항목
보고 및 이력화의 기본 형식