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머리말
Ⅰ 서론 1. 반도체의 정체 2. 불순물에 따라 변하는 반도체 3. 반도체 소자의 기본 Ⅱ 반도체 소자가 등장한 배경 1. 반도체 물질의 결정 이론 2. Transistor가 등장한 배경 3. Transistor의 개발 4. Planar process와 집적회로의 등장 5. IC 속에는 무엇이 들어가 있는가 Ⅲ 반도체의 경제성 1. Wafer의 대형화 2. 선폭의 축소와 집적도의 증가 3. Yield의 향상 4. Learning curve Ⅳ 반도체 제조공정 1. Si 원료 제조공정 ① 금속규소 ② 다결정 Si ③ 단결정 Si ④ Wafer 2. Wafer fabrication ① 회로설계 ② Photomask 제작 ③ 박막형성 ④ Photoresist 도포 ⑤ 노광, pattern 형성 ⑥ 현상, etching ⑦ 확산, 이온주입 ⑧ 평탄화 ⑨ 배선, 전극형성 ⑩ 검사 Ⅴ 반도체 조립 ① Wafer scribing ② Chip mounting ③ Wire bonding ④ Packaging/sealing ⑤ Marking Ⅵ 반도체의 구조와 역할 1. Transistor 2. Diode 3. 반도체의 memory Ⅶ 특수한 용도의 반도체 1. Si를 사용한 특수 반도체 2. 화합물 반도체 3. 특수 반도체 용어의 정의 |