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머리말
Ⅰ 서론 1. 반도체의 정체 2. 불순물에 따라 변하는 반도체 3. 반도체 소자의 기본 Ⅱ 반도체 소자가 등장한 배경 1. 반도체 물질의 결정 이론 2. Transistor가 등장한 배경 3. Transistor의 개발 4. Planar process와 집적회로의 등장 5. IC 속에는 무엇이 들어가 있는가 Ⅲ 반도체의 경제성 1. Wafer의 대형화 2. 선폭의 축소와 집적도의 증가 3. Yield의 향상 4. Learning curve Ⅳ 반도체 제조공정 1. Si 원료 제조공정 ① 금속규소 ② 다결정 Si ③ 단결정 Si ④ Wafer 2. Wafer fabrication ① 회로설계 ② Photomask 제작 ③ 박막형성 ④ Photoresist 도포 ⑤ 노광, pattern 형성 ⑥ 현상, etching ⑦ 확산, 이온주입 ⑧ 평탄화 ⑨ 배선, 전극형성 ⑩ 검사 Ⅴ 반도체 조립 ① Wafer scribing ② Chip mounting ③ Wire bonding ④ Packaging/sealing ⑤ Marking Ⅵ 반도체의 구조와 역할 1. Transistor 2. Diode 3. 반도체의 memory Ⅶ 특수한 용도의 반도체 1. Si를 사용한 특수 반도체 2. 화합물 반도체 3. 특수 반도체 용어의 정의 |
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반도체는 인류사상 최대의 변혁을 가져다주고 있다고 해도 과언이 아니다. 우리 주위에 등장하고 있는 첨단기기 및 첨단설비를 지탱하고 있는 것은 전자기술이라는 ‘새로운 수단’이며 이를 실현화시켜 주고 있는 ‘새로운 디바이스’가 바로 ‘반도체’이다. 또한, 인터넷을 매체로 한 고도 정보화 사회 역시 반도체에 의해 이루어지고 있다고 할 수 있다.
반도체(정확한 표현으로는 ‘반도체 소자’)가 등장하면서 우리 생활은 크게 변모했다. PC, 복합기능프린터, 휴대폰, 평면 TV, 다기능/다채널 오디오, 인터넷 등 새로운 제품 또는 기능을 일신한 제품이 생활에 깊숙이 침투하는 한편 세탁기, 전기밥솥, 냉장고 등도 그 기능과 편리성이 크게 향상돼 종전의 모습과는 전혀 다른 제품이 됐다. 그뿐 아니라 자동차, 전철, 여객기 등도 에너지 소모가 감소함과 동시에 기능, 편리성 및 안전성 등이 하루가 다르게 향상하고 있다. 특히 방위산업 분야에서는 미사일, 레이더, 잠수함, 항공모함, 구축함, 전투기, 폭격기, 인공위성 등의 기능과 정밀성은 우리의 상상을 초월할 정도로 변모하고 있다. - 머리말 중에서 - |