소득공제
수입
직수입양서
Nanofabrication
Principles to Laboratory Practice
Paperback, 1st Edition
Sarangan, Andrew (University of Dayton, OH,USA)
CRC Press
2019.12.12.
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책소개
목차
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Introduction to Micro and Nano-Fabrication. Vacuum and Plasma technology. Physical vapor deposition. Chemical vapor deposition. Optical thin film coatings. Substrate materials. Photoresists and photolithography. Wet chemical etching. Plasma etching. Semiconductor Doping & annealing. Semiconductor metrology. Packaging. MEMS and microfluidic device fabrication. Fabrication examples. |
관련 분류
품목정보
- 발행일
- 2019년 12월 12일
- 쪽수, 무게, 크기
- 316쪽 | 580g | 180*250mm
- ISBN13
- 9780367873196
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