1장 전력반도체 제조 기술의 개요와 산업 구조
전력반도체의 역할과 특성
전력반도체의 주요 종류
전력반도체 제조 기술의 범위
제조 공정의 전체 흐름
소자 구조와 제조 방식의 관계
전력반도체 산업의 생산 체계

2장 전력반도체 재료와 기판 기술
실리콘 재료의 특성
탄화규소 재료의 특성
질화갈륨 재료의 특성
웨이퍼의 규격과 품질 요소
기판 결함과 제조 영향
재료 선택과 제조 조건의 연계

3장 웨이퍼 제조와 전처리 공정
잉곳 성장과 웨이퍼 절단
웨이퍼 연마와 평탄화
세정 공정의 목적과 방법
표면 오염과 결함 관리
웨이퍼 검사와 품질 판정
전처리 공정의 관리 항목

4장 에피택시와 박막 형성 기술
에피택시 공정의 원리
에피층의 두께와 농도 제어
산화막 형성 공정
화학 기상 증착 공정
물리 기상 증착 공정
박막 특성과 공정 조건의 관계

5장 포토 공정과 패턴 형성
회로 패턴 형성의 원리
포토레지스트의 종류와 특성
노광 공정의 구성 요소
현상 공정과 패턴 완성
정렬 오차와 패턴 불량
포토 공정의 품질 관리

6장 식각과 도핑 공정
식각 공정의 원리와 종류
습식 식각의 특성
건식 식각의 특성
불순물 도입의 목적
열확산 공정의 특성
이온 주입 공정의 특성
도핑 농도와 소자 특성의 관계

7장 열처리와 소자 구조 형성
열처리 공정의 목적
어닐링 공정의 종류
접합 형성과 활성화
산화와 열 예산 관리
트렌치 구조 형성
셀 구조와 전류 경로 설계

8장 금속 배선과 전극 형성
금속막 형성의 목적
전극 재료의 종류와 특성
배선 공정의 형성 절차
오믹 접촉과 접촉 저항
후면 전극 형성 공정
금속 공정의 결함과 관리

9장 패키징과 조립 공정
칩 절단과 선별
다이 본딩 공정
와이어 본딩 공정
몰딩과 봉지 기술
방열 구조와 열 관리
패키지 신뢰성 평가

10장 검사, 신뢰성, 품질 관리
전기적 특성 검사
외관 및 구조 검사
공정 중 검사와 최종 검사
수율 관리와 불량 분석
신뢰성 시험의 종류
품질 보증 체계와 기준