제 1 장 진공의 기초 원리
1. 진공의 성질 / 2. 압력 / 3. 기체의 법칙 / 4. 기체 분자 운동 / 5. 기체의 흐름 / 6. 전도도 / 7. 표면과 기타 효과

제 2 장 진공 펌프
1. 진공펌프의 기능과 종류 / 2. 오일 회전 진공펌프 / 3. 건식 진공 펌프 / 4. 확산 펌프 / 5. 터보 분자 펌프 / 6. 게터펌프 / 7. 스퍼터 이온 펌프 / 8. 섭션펌프 / 9. 크라이오 펌프

제 3 장 진공 게이지
1. 진공 게이지 / 2. 열전도형 게이지 / 3. 전리게이지

제 4 장 플라즈마의 이해
1. 플라즈마 / 2. 플라즈마 생성 / 3. 전·자장에서 하전입자의 운도 / 4. 플라즈마 특성 / 5. 플라즈마 생성장비 / 6. 플라즈마 식각

제 5 장 박막의 제조 방법
1. 진공 증착 / 2. 스퍼터링법 / 3. DC 스퍼터링 / 4. RF 스퍼터링 / 5. 미그네트론 스퍼터링 / 6. CVD

제 6 장 박막 측정
1. AFM(원자현미경)

제 7 장 플라즈마 시뮬레이션
1. 플라즈마 장비 설계 요소 / 2. 플라즈마 모델링 / 3. 전자장 해석 / 4. 가스 유동 해석 / 5. 열전달 해석 / 6. 기상 화학 반응 / 7. 표면 화학 반응 / 8. 디자인 해석 사례 및 유의점

참고문헌
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