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목차
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제1장 박막공학의 개요
제2장 진공과학 기초 제3장 진공증착법 제4장 물리적 증착 제5장 화학적 증착 제6장 박막제작의 전처리 및 결합 제7장 박막의 미세구조와 특성 제8장 박막의 분석 및 평가 제9장 IC 및 전자부품에서의 박막 응용 제10장 자기기록 박막 제11장 Display 박막 제12장 다이아몬드 박막 |
품목정보
- 발행일
- 2009년 01월 20일
- 쪽수, 무게, 크기
- 417쪽 | 188*254*30mm
- ISBN13
- 9788975283109
