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반도체 장비요소 기술공학
최재성 저
북스힐 2022.10.10.
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목차

1장 반도체 제조 공정 개요
2장 반도체 제조 장비 개요
3장 유량 조절 장치 이해
4장 밸브 장치 이해
5장 진공 장치 이해
6장 가열 장치 이해
7장 냉각 장치 이해
8장 플라즈마 장치 이해
9장 반송 장치 이해
10장 제어 장치 이해
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품목정보

발행일
2022년 10월 10일
쪽수, 무게, 크기
208쪽 | 170*240*20mm
ISBN13
9791159714566

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