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이 상품의 시리즈 20
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책소개
목차
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제1장 전략분야 환경분석
제1절 개요 제2절 환경 분석 제3절 품목로드맵 제2장 전략품목 환경분석 전략품목 1. 리소용 부품·소재 제1절 개요 제2절 환경 분석 제3절 특허분석 제4절 기술개발 로드맵 전략품목 2. 플라즈마(PVD·Dry Etching·Ashing) 장비·부품 제1절 개요 제2절 환경 분석 제3절 특허분석 제4절 기술개발 로드맵 전략품목 3. CVD·ALD 장비·부품 제1절 개요 제2절 환경 분석 제3절 특허분석 제4절 기술개발 로드맵 전략품목 4. CMP 공정 소재 제1절 개요 제2절 환경 분석 제3절 특허분석 제4절 기술개발 로드맵 전략품목 5. 반도체 세정 장비·부품·소재 제1절 개요 제2절 환경 분석 제3절 특허분석 제4절 기술개발 로드맵 전략품목 6. 진공용 부품 제1절 개요 제2절 환경 분석 제3절 특허분석 제4절 기술개발 로드맵 전략품목 7. 첨단 패키징 전기도금용 장비·부품·소재 제1절 개요 제2절 환경 분석 제3절 특허분석 제4절 기술개발 로드맵 전략품목 8. 반도체 테스트 장비·부품 제1절 개요 제2절 환경 분석 제3절 특허분석 제4절 기술개발 로드맵 전략품목 9. 첨단 패키징 장비·부품·소재 제1절 개요 제2절 환경 분석 제3절 특허분석 제4절 기술개발 로드맵 |
품목정보
- 발행일
- 2025년 03월 17일
- 쪽수, 무게, 크기
- 448쪽 | 188*257mm
- ISBN13
- 9791129058201
